半導体産業用圧力スイッチ CB14
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この製品について

本器は、半導体製造に不可欠な各種ガス専用に開発した簡易な構造の小形・軽量な圧力スイッチであり、直接機器に取付けて使用されます。製造工程においては、清浄度・気密性も十分な配慮がなされ、厳密な品質管理と性能試験を経て供給しますので、半導体プロセスガスに適しています。

■特長・小形・軽量で取付スペースの限られている場所などに、便利です。
・圧力設定が容易に行えます。
・マイクロスイッチに余分な負荷がかからない構造であるため、安定した制御が行えます。
・クリーンベンチ (クラス100) 及びクリーンルーム内において洗浄・組立作業を行い清浄度を確保しています。また十分な脱脂洗浄を行い、禁油・禁水処理を施すと共に、製品完成後は無塵ポリエチレン密封包装を実施しております。
・ダイアフラム式の接ガス部は電解研磨処理を施してあります。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
半導体産業用圧力スイッチ CB14

取扱企業
長野計器株式会社

カテゴリ

スイッチ

圧力スイッチ

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2025年4月24日にレビュー済み

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半導体産業用圧力スイッチ CB14 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定流体	圧力エレメント	接ガス部材質	圧力導入口	圧力レンジ	使用温度範囲	保存温度範囲	精度	スイッチ	接点数	接点方式	電線取付方法	気密性 (He真空法)	ケース構造	外装	質量
	CB14	要見積もり	各種プロセスガス	ベローズ式またはダイアフラム式 (電解研磨品)	SUS316、SUS316L (エレメント)	1/8NPT、1/4VCR (9/16-18UNFオス・メス)	-0.1~0.2→0.1~2.1MPa	-5~40℃	-5~40℃	±1%max.P. (連成レンジ：±1%F.S.)	マイクロスイッチ	1接点	外部調整式	マイクロスイッチ端子に直接取付 (M4端子)	1.01×10^-9Pa・㎥/s以下	屋内開放形	ニッケルメッキ (スイッチ取付金具及びボディ)	約160g~約270g