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半導体産業用圧力計 GW35-GW35
半導体産業用圧力計 GW35-長野計器株式会社

半導体産業用圧力計 GW35
長野計器株式会社

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この製品について

■半導体ガス集積化プロセス向け

半導体高純度ガス、及び腐食性ガスの雰囲気等の条件下でも優れた性能を発揮します。気密性・洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導体プロセス等、特に高純度流体向けに適した圧力計です。

■特長

・ブルドン管・接続部・ケース・内機等主要部品がステンレス製ですので、測定体はもちろん、雰囲気に対しても耐食性に優れています。 ・接ガス部の溶接は、アルゴンアーク溶接を行い、さらに耐圧・気密検査の実施など、厳重な品質管理の下で製作しております。 ・圧力計を選定される際は、性能を十分発揮できるよう、常用圧力の上限が以下の範囲となるように圧力レンジを選定してください。定圧力の場合：圧力レンジの最大値の3/4以下、変動圧力の場合：圧力レンジの最大値の2/3以下 ・また記載の接ガス部材質が測定流体に適合したものであることをご確認ください。詳しくは、JIS B 7505-1をご覧ください。

  • シリーズ

    半導体産業用圧力計 GW35

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半導体産業用圧力計 GW35 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定流体 形状 大きさ 接続ねじ 材質 ケース構造 溶接方法 圧力レンジ 使用温度範囲 精度 気密性 (He真空法) 清浄度 質量
半導体産業用圧力計 GW35-品番-GW35

GW35

要見積もり

各種プロセスガス

埋込形：D枠 (中心裏ねじ、ステム)

φ35 (モデル：GW35) 、φ40 (モデル：GW45)

9/16-18UNF

ブルドン管・接続部：SUS316L、ケース：SUS304 (生地) 、内機：SUS製

屋内一般形

アルゴンアーク溶接

0~0.4MPa→0~3.5MPa、-0.1~0.3MPa→-0.1~2MPa

-5~45℃

±3%F.S.

1.01×10^-9Pa・㎥/s以下

EPグレード：0.2μm以上のパーティクル10個以下、BAグレード：クラスⅵ (ANSI B40. 1M-1979)

φ35：約75g、φ40：約90g

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圧力測定範囲 MPa

-100 - 0 0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 16

使用温度範囲 ℃

-40 - -20 -20 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 160

保護等級 IP

IP65 IP64 IP67 IP45 IP40

電源電圧 V

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40

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会社概要

長野計器株式会社は、東京都大田区に本社を置く、圧力計、工業用温度計、医療関連機器等の製造・販売を行う企業である。 1896年に創業、1917年に「株式会社東京計器製作所」を設立。その後、株式会社長野計器製作所と株式会社東...

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  • 本社所在地: 東京都

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