腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー-PC-601A-VR-100G-M-CS

腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー
株式会社ピー･ジェイ

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この製品について

半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCI等のハロゲン系反応性、腐食性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐食性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されております。ステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐食生成物を形成します。

この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンジャパンでは、このような腐食性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐食性を有するハステロイ®を使用した腐食性特殊ガス対策用圧力センサーPC-601シリーズを開発致しました。

■高耐食性接ガス部には、HBr、HCI等のハロゲン系反応性、腐食性特殊ガスに対し、従来のステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐食性を有する鋼材ハステロイ®を使用し、さらに電解研磨処理をしておりますので、耐食性特殊ガスに優れた力を発揮いたします。

■高精度・高信頼性リニアリティ・ヒステリシス・リピータビリティの影響によるベスト・フィット直線から最大偏差は±0.25%と高精度で高い信頼性があります。

■広い測定範囲ゲージ圧 0～172.4KPa (1.76kgf/cm2) から20.684KPa (210.9kgf/cm2) まで、絶対圧0～2.586torr迄の幅広い圧力レンジを用意しております。

※ゲージ圧タイプは全て連成対応可能です。※電気的特性として、明記してある規格 (信号出力・オフセット・スパン・精度) は校正温度における規格 ※MA22はハステロイC-22相当のNi-Cr-Mo合金です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー

取扱企業
株式会社ピー･ジェイ

カテゴリ

センサー

圧力センサー

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腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	圧カレンジ KPa	圧カレンジ kgf/cm2	精度	温度ドリフト	保存温度範囲 (未通電)	補償温度範囲	信号出力	スパン	オフセット	励起 (電源) 電圧	破壞圧力	過負荷圧力	外部リーク	接ガス (液) 部	継手
	PC-601A-VR-100G-M-CS	要見積もり	0~689.5	0~7.03	±0.25% FS	±0.05%FS/℃	-20℃~ 93℃	-1 ~ 71℃	100mV (20mV/V)	100mV ± 15mV	0mV ± 10mV	DC 5V (MAX 6V)	Full Scale ×5 (3,000GはFull Scale × 2)	Full Scale ×2	2x10^11Pa・m3/sec (He) 以下 (or less)	ボディ：HASTELLOY®️ ダイヤフラム部：MA22	1/4”ガスケットシール (Gasket seal) 、コンプレッション (Compression) 、他 (etc)