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腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー-PC-601A-VR-100G-M-CS
腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー-株式会社ピー･ジェイ

腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー
株式会社ピー･ジェイ

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この製品について

半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCI等のハロゲン系反応性、腐食性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐食性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されております。ステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐食生成物を形成します。 この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンジャパンでは、このような腐食性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐食性を有するハステロイ®を使用した腐食性特殊ガス対策用圧力センサーPC-601シリーズを開発致しました。

■高耐食性

接ガス部には、HBr、HCI等のハロゲン系反応性、腐食性特殊ガスに対し、従来のステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐食性を有する鋼材ハステロイ®を使用し、さらに電解研磨処理をしておりますので、耐食性特殊ガスに優れた力を発揮いたします。

■高精度・高信頼性

リニアリティ・ヒステリシス・リピータビリティの影響によるベスト・フィット直線から最大偏差は±0.25%と高精度で高い信頼性があります。

■広い測定範囲

ゲージ圧 0～172.4KPa (1.76kgf/cm2) から20.684KPa (210.9kgf/cm2) まで、絶対圧0～2.586torr迄の幅広い圧力レンジを用意しております。 ※ゲージ圧タイプは全て連成対応可能です。※電気的特性として、明記してある規格 (信号出力・オフセット・スパン・精度) は校正温度における規格 ※MA22はハステロイC-22相当のNi-Cr-Mo合金です。

  • シリーズ

    腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー

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腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 圧カレンジ KPa 圧カレンジ kgf/cm2 精度 温度ドリフト 保存温度範囲 (未通電) 補償温度範囲 信号出力 スパン オフセット 励起 (電源) 電圧 破壞圧力 過負荷圧力 外部リーク 接ガス (液) 部 継手
腐食性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー-品番-PC-601A-VR-100G-M-CS

PC-601A-VR-100G-M-CS

要見積もり

0~689.5

0~7.03

±0.25% FS

±0.05%FS/℃

-20℃~ 93℃

-1 ~ 71℃

100mV (20mV/V)

100mV ± 15mV

0mV ± 10mV

DC 5V (MAX 6V)

Full Scale ×5 (3,000GはFull Scale × 2)

Full Scale ×2

2x10^11Pa・m3/sec (He) 以下 (or less)

ボディ：HASTELLOY®️
ダイヤフラム部：MA22

1/4”ガスケットシール (Gasket seal) 、コンプレッション (Compression) 、他 (etc)

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使用用途

#監視 #モバイル機器 #プレス #冷却回路

測定対象圧力

絶対圧型 ゲージ圧型 差圧型 負圧型

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型 無線出力型

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社ピー･ジェイ

会社概要

株式会社ピー・ジェイは、株式会社ピュアロンジャパンの製品を販売する会社です。

2006年に株式会社ピュアロンジャパンの販売部門が独立して設立されました。国内だけでなく、海外への販売も行っています ㈱ピュ...

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  • 本社所在地: 福島県

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