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セラミック 粉末成形品 窒化アルミニウム部品-HAN-170
セラミック 粉末成形品 窒化アルミニウム部品-株式会社MARUWA

セラミック 粉末成形品 窒化アルミニウム部品
株式会社MARUWA

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この製品について

■特長

窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで一貫した体制を確立しています。独自のホットプレス法と様々な機械加工を用いた生産により、半導体製造装置や医療関連における最先端の技術要求を満たすことが可能です。 ・金属アルミニウムに匹敵する優れた熱伝導率 ・シリコンに近い熱膨張率 ・高い電気絶縁性 ・フッ素系ガスなどに対する耐プラズマ性 ・欠陥となるボイドがない緻密な焼結体 ・目的に応じた材料選択 (高熱伝導タイプ/高純度タイプ) ・半導体製造装置関連に対応したサイズ

■用途

半導体製造装置用部品 (ヒーター、静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレート) 、医療機用部品

■推奨サイズ

φ180~380mm×1~10mmt (将来的にφ550対応予定) ※上記サイズ以外もカスタム対応いたします。

  • シリーズ

    セラミック 粉末成形品 窒化アルミニウム部品

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セラミック 粉末成形品 窒化アルミニウム部品 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 見掛密度 (g/cm3) 抗折強度 (MPa) ヤング率 (GPa) 比熱 (J/ (kg・K) ) 熱膨張係数 ~800℃ (10-6/K) 熱伝導率 (W/ (m・K) ) 誘電率 1MHz 誘電損失 1MHz (10^-4) 体積固有抵抗 25℃ (Ω・cm) 絶縁破壊電圧 (㎸/mm) 用途
セラミック 粉末成形品 窒化アルミニウム部品-品番-HAN-170

HAN-170

要見積もり

3.3

>350

320

740

5

170

9

5

>10^14

>15

ヒーター、ヒートシンク

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使用用途

#絶縁 #耐熱 #耐摩耗 #耐薬品 #放熱 #精密加工 #生体適合 #真空対応

アルミナ含有率 %

90 - 95 95 - 99 99 - 100

曲げ強さ MPa

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

熱伝導率 W/ (m・K)

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

見掛密度/かさ密度 g/cm3

0 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 10

絶縁耐力 KV/mm

0 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 50 50 - 100

吸水率 %

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社MARUWAは、セラミック製品メーカーです。 放熱性や絶縁性などが高いセラミック製品を取り扱っています。セラミック板に導体の配線を配置した電子部品で、コンデンサや抵抗器などの部品を実装して使用する「セラミック基...

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  • 本社所在地: 愛知県

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