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高電圧定電流パルス発生器 HTA-1-HTA-1
高電圧定電流パルス発生器 HTA-1-株式会社テクニカ

高電圧定電流パルス発生器 HTA-1
株式会社テクニカ



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この製品について

■概要

この装置は、半導体製造装置に採用されている電源ユニットです。電圧制御信号を入力として、放電ギャップに印加する放電開始電圧を生成する制御手段と、電流制御信号を入力として、放電ギャップに対して放電電流を供給する機能があり、電圧、電流制御信号のレベルに応じて放電開始電圧、放電電流をリニアに制御することが出来ます。 電気的性能

■動作概要

無負荷状態 (ギャップオープン) で回路は定電圧となっていて、電圧制御入力が与えられると出力に所定の高電圧が現れる。負荷電流が流れると (ギャップ短絡または放電状態) 回路は定電流となり、電流制御入力によって所定の電流が流れます。

■構成

この装置は次の各部により構成され、同一筐体内に収納されています。 ・入出力接続部 ・Control/Drive Module ・駆動出力部

  • シリーズ

    高電圧定電流パルス発生器 HTA-1

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高電圧定電流パルス発生器 HTA-1 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大繰り返し時間 (周波数) 電圧入出力 最大入力パルス幅 電圧入出力 電圧入力インピーダンス 電圧入出力 最大電圧出力 (Vo) 電圧入出力 モニタ 電流入出力 電流入力インピーダンス 電流入出力 制御電圧位相 電流入出力 制御感度及び最大出力電流 電流入出力 モニタ スパーク カット信号入力 非常停止スイッチ 保護機能 使用温度、湿度 雰囲気 装置寸法
高電圧定電流パルス発生器 HTA-1-品番-HTA-1

HTA-1

要見積もり

50ms (20Hz)

150μs

1,000pF//25kΩ

-5kV (出力解放時)

-1kV/Vの+電圧波形を出力

1,000pF//10kΩ

電圧制御信号と同一立ち上がりとする

70mA

20mA/Vの+電圧波形を出力

"L"で放電動作停止

外部スイッチにより動作停止

電気的保護:定格を越える繰り返し周波数、パルス幅、電流に対して、定格5Aのヒューズの溶断により1次電源を切断

0~40℃、85%以下 (結露なきこと)

腐食性ガス、塵あいを含まぬ1気圧の大気中

115.5 (W) ×130 (D) ×87.1 (H)
突起を含まず。

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応答特性: 高電圧型

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使用用途

#DC電源連携 #アーク制御 #スパッタ #ターゲットライフ #タイミング制御 #トリガー信号源 #機器同期 #広帯域スペクトル生成

波形特性

単一パルス型 矩形波発生型 パルストレイン型 ステップ波形型

出力方式

電圧出力型 電流出力型 光出力型 高周波出力型

駆動方式

デジタル制御型 結合回路型 手動操作型

応答特性

高速応答型 高電圧型 高電流型

電源電圧 V

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30

回転トルク mN・m

0 - 20 20 - 40 40 - 80

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

パルス幅 μs

0 - 200 200 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,400

製品重量 g

0 - 100 100 - 200 200 - 300

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