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真空関連機器 残留ガス分析器 (四重極型質量分析器) (XT シリーズ)-残留ガス分析器 (XT シリーズ)
真空関連機器 残留ガス分析器 (四重極型質量分析器) (XT シリーズ)-Kimball Physics Inc.

真空関連機器 残留ガス分析器 (四重極型質量分析器) (XT シリーズ)
Kimball Physics Inc.



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この製品について

■Extorr社製「残留ガス分析器 (XT シリーズ) 」

ピラニー真空計とイオン真空計を完備している高性能ながら低価格な四重極型質量分析器 (RGA) です。100、200、300amuの3タイプがあり、どのような装置にも簡単接続可能な設計になっております。内蔵の真空計により圧力を正確に測定し、自動で計測器を調整・保護します。

■特徴

・高性能・低価格 ・ピラニー真空計・イオン真空計を装備 ・コンパクトな設計 ・PCへの簡単接続、簡単操作

■用途

・残留ガス分析 ・プロセスモニタ ・不純物管理

  • シリーズ

    真空関連機器 残留ガス分析器 (四重極型質量分析器) (XT シリーズ)

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真空関連機器 残留ガス分析器 (四重極型質量分析器) (XT シリーズ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 質量数範囲 分解能 感度 最小検知分圧 検出器 使用圧力 使用温度 (℃) ベーキング可能温度 (℃) 接続フランジ
真空関連機器 残留ガス分析器 (四重極型質量分析器) (XT シリーズ)-品番-残留ガス分析器 (XT シリーズ)

残留ガス分析器 (XT シリーズ)

要見積もり

1-100amu
1-200amu
1-300amu

10% P.H.

5×10-4A/Torr

5×10-14torr

ファラデーカップ、マルチプライヤー

大気~超高真空 (ガス残留分析時は10-3 torr以下)

70

350

ICF70

フィルターから探す

ガス分析計 をフィルターから探すことができます

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2 2 - 3

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240 240 - 270

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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  • 本社所在地: アメリカ
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