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多目的アニール装置 AT-50取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | 加熱温度 | ガス制御部 | 加熱部 | 搬送室 | 真空排気部 | 電機制御部 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
AT-50 |
要見積もり |
25mm×1枚 |
Max.1,100℃ |
窒素、アルゴン、酸素導入 |
電気加熱方式 (1ゾーン) |
基板導入ハッチ、手動トランスファーロッド方式 |
ロータリーポンプ (167L/min) |
操作パネル |
