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離れたチャンバ間のサンプル輸送を超高真空を保持した状態で行うことが可能です。 ◼︎特長 ・乾電池駆動可能な小型イオンポンプを装備した可搬型軽量真空装置です。 ・大気暴露に対してデリケートな試料の持ち出し・運搬が可能です。 ・搬送中も乾電池駆動により超高真空を維持します。 (実績16時間 (電池交換なし) ) ・トランスファーロッド及びゲートバルブ付搬送ポートを装備していますので、大気暴露することなく装置間の試料受け渡しが可能です。 ・イオンポンプ付モバイルロードロックシステムとして、非常にコンパクトで軽量 (約30kg) です。 ◼︎仕様 ・複合モバイルイオンポンプ (排気速度：20L/sec) ・ストックチャンバー ・試料サイズ：最大1インチΦ ・到達真空度：～10-8Pa ・試料搬送機構：マグネット式トランスファーロッド ※ご使用装置に合わせた設計製作も行います。 ・手動ゲートバルブ (ICF70) ・持ち運び容易な搬送用ケース ・最大2枚の試料を収納可能とするストック機構 (オプション) ◼︎用途 ・超高真空一貫での試料輸送に。 ・遠距離拠点間において、最高状態の試料共有に。

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#薄膜成膜 #真空乾燥 #真空蒸着 #真空包装 #半導体製造 #真空炉 #蒸留抽出 #研究開発

真空到達度

低真空型 中真空型 高真空型 超高真空型

排気方式

油回転ポンプ型 ドライポンプ型 ターボ分子ポンプ型

構造形式

チャンバー一体型 モジュール分離型 移動式ユニット型 多室連結型

到達真空度 kPa

-110 - -90 -90 - -10

設計排気量 m3/h

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 6,000

ポンプ排気量 L/min

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 700 700 - 1,400 1,400 - 1,900

回転速度 rpm

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 30,000 30,000 - 40,000

モーター出力 kW

0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5

電源 V

100 - 200 200 - 300 300 - 500

質量 kg

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会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

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  • 本社所在地: 京都府

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