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モバイルロードロックシステム-株式会社エピクエスト

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この製品について

離れたチャンバ間のサンプル輸送を超高真空を保持した状態で行うことが可能です。 ◼︎特長 ・乾電池駆動可能な小型イオンポンプを装備した可搬型軽量真空装置です。 ・大気暴露に対してデリケートな試料の持ち出し・運搬が可能です。 ・搬送中も乾電池駆動により超高真空を維持します。 (実績16時間 (電池交換なし) ) ・トランスファーロッド及びゲートバルブ付搬送ポートを装備していますので、大気暴露することなく装置間の試料受け渡しが可能です。 ・イオンポンプ付モバイルロードロックシステムとして、非常にコンパクトで軽量 (約30kg) です。 ◼︎仕様 ・複合モバイルイオンポンプ (排気速度：20L/sec) ・ストックチャンバー ・試料サイズ：最大1インチΦ ・到達真空度：～10-8Pa ・試料搬送機構：マグネット式トランスファーロッド ※ご使用装置に合わせた設計製作も行います。 ・手動ゲートバルブ (ICF70) ・持ち運び容易な搬送用ケース ・最大2枚の試料を収納可能とするストック機構 (オプション) ◼︎用途 ・超高真空一貫での試料輸送に。 ・遠距離拠点間において、最高状態の試料共有に。

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会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

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  • 本社所在地: 京都府

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