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ピエゾモータステージ 制御コントロール-LC421A
ピエゾモータステージ 制御コントロール-THKプレシジョン株式会社

ピエゾモータステージ 制御コントロール
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。 アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。

■特徴

・スリムで省スペース ・自己発熱が少ない ・真空環境対応、非磁性対応 ・リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

■製品応用例

・光学系の高精度位置決め ・レーザーアライメント ・精密マッピング測定 ・X線/分析、測定装置 ・顕微鏡用試料ステージ ・位置調整後に静止保持する用途

■製品情報

LSタイプピエゾモータステージを駆動制御するためのコントローラです。制御回路、ドライバを一体型とし、ピエゾモータステージを接続することによりABZ相出力の光学式リニアエンコーダによるクローズド制御を行うことができます。 2軸用制御コントローラと4軸用制御コントローラをベースに1~4軸制御コントローラを用意しております制御は、LANまたはRS485インターフェースを介し、PCより制御コマンドを送ることにより簡単に動作可能です。また、RS232Cインターフェースへの変更も対応します。

■その他

・制御基板、ドライバ基板、リニアセンサインタポレータを内蔵し、内部はRS485によるチェーン接続をし、多軸化にも対応可能 (リニアセンサにより異なります。) ・ステージに対応した1~4軸制御コントローラと接続すれば、すぐに高分解能な位置決め制御ができます。 ・10nm分解能のリニアセンサと1nm以下の駆動分解能のドライバによる駆動制御です。 ・駆動分解能が1nm以下ですので、標準以外のより高精度なリニアセンサにも対応できます。 ・内部制御基板の接続がRS485によるチェーン接続ですので、多軸化 (最大127軸) にも対応できます。

  • シリーズ

    ピエゾモータステージ 制御コントロール

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ピエゾモータステージ 制御コントロール 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 制御軸数 接続リニアスケール 制御インターフェース モーター駆動分解能 最大駆動周波数 駆動ドライバ出力 外形寸法 電源
ピエゾモータステージ 制御コントロール-品番-LC421A

LC421A

要見積もり

1

・タイプ Type A
・メーカ レニショー製

・標準 LAN.RS485 (別売) RS485-USB変換ケーブル
・変更選択 RS232C 変更後はLAN,RS485は使用できません

・8,192マイクロステップ (1マイクロステップ≒0.5nm) :1Wfm (駆動波形1サイクル) を8,192分割して駆動します
・1Wfmにより4~5μm移動します

・1,500Hz (6N stage) .750Hz (20N stage) :1Wfmの最大周波数です
・駆動周波数と1Wfmの移動量の積が最大速度となります

0~45V

W210×D240×H68mm 突起部を含みません

AC100~120V/AC200~240V 切替式

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出力電圧 V

-1,100 - -100 -100 - 0 0 - 100 100 - 300 300 - 1,100

ピーク出力電力 W

0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,500 1,500 - 5,000

平均出力電力 W

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 200

ピーク電流 mA

0 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,000

動作電圧 V

0 - 10 10 - 30 30 - 130 130 - 240

入力電圧範囲 V

-10 - -5 -5 - 0 0 - 10 10 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都
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