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クリーンブラスター CS-750-CS-750
クリーンブラスター CS-750-フジ・インバック株式会社

クリーンブラスター CS-750
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■クリーンブラスター

「クリーンブラスター」は、サンドブラストの原理を応用し、半導体製造装置のクリーニング用装置として開発しました。ブラストノズルの先端から高圧エアにて研磨材を噴射させて金属表面を磨くという特性を活かし、イオン入・CVD・スパッタ・蒸着装置等の部品を短時間で安全にクリーニング処理を実行できます。 クリーンブラスター全機種はクリーン環境と作業者に対し以下のような配慮を施し人と環境への安全を確保しています。

■概要

・二重局所排気構造により外部発塵を極限まで減らしました。二重化された局所排気機構はブラスト室の発塵のみならず装置内のモーターや電装機器から発生する発塵発熱も外部に漏らしません。 ・クリーンブラスターは予備室を備えたロードロック機構となっています。予備室は密閉型のドラフトチャンバーとなっておりブラスト作業後のワークの後処理などが行えます。また、ブラスト室と予備室はゲートバルブ構造のシャッターにて仕切られます。 ・密閉型フード構造によりAs、Pなどの毒物の付着したワークに直接手を触れずに作業を行う事が出来ます。 ・研磨材が循環式のため運転コストが抑えられています。また、切削ダストがタンクに回収されるので処理が簡単です。 ・完全ドライ方式なので、水・酸・薬液等の廃液処理は必要ありません。 ・装置の保守・維持管理が容易です。

■特長

CS-750はCS-801の基本性能をそのままに、よりシンプルかつコンパクトをコンセプトに開発されました。シンプルな構造のCS-750は拡張機能を省いて製品コストを抑えた、クリーンブラスターのベーシックモデルです。 ・2室構造で作業中の外部への発塵を防止しました。 ・インターロック作動中は研磨材が噴射されません。 ・ダストコレクターのフィルタークリーニングにパルスエアージｪット方式を採用しています。作業前に自動クリーニングを行います。

■用途

・イオン注入装置のイオンソース ・他各種小型部品 ・治具のクリーニング

  • シリーズ

    クリーンブラスター CS-750

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クリーンブラスター CS-750 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置寸法 重量 塗装色 電源電圧 電源容量 圧縮空気 排気 ワークサイズ 研磨材
クリーンブラスター CS-750-品番-CS-750

CS-750

要見積もり

W1,600×D1,050×H2,000

350kg

7.5Y91 スムース

AC100V 50/60Hz

6A

450L/min at 5kg/cm²

6mm/m in

H350×D450×L500

#80~#200

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排気風量 m³/min

1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20

機内静圧 KPa

0 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5 0.5 - 0.6

窓面風速 m/sec

0.2 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 0.6

騒音 dB

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会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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