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排ガス処理装置 NF3用排ガス処理装置 MODEL-WGH取扱企業
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 寸法 W×D×H (mm) | 装置重量 (kg) | 電源電圧 (kVA) | 置換用ガス 種類 | 置換用ガス 供給圧 | 置換用ガス 使用量 | 計装用ガス 種類 | 計装用ガス 供給圧 | 計装用ガス 使用量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
WGH |
要見積もり |
1,200 × 800 × 2,000 |
500 |
17 |
N2 |
0.4 ~ 0.7MPa |
100 (ℓ / min) nor |
N2 又は、Dry Air |
0.4 ~ 0.7MPa |
若干 |
