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排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ-WGE-60
排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ-エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社



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この製品について

本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。

■特長

・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命 ・水のみを使用するため、アルカリ汚染がない ・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できる ・気液接触部での詰まりが少ない構造 ・吸着筒の自動交互運転により連続除害が可能

  • シリーズ

    排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ

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排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大処理流量 (ℓ / min) (nor) 概算装置寸法 W×D×H (mm)
排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ-品番-WGE-60

WGE-60

要見積もり

60

1,350 × 1,100 × 1,800

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本パイオニクス株式会社は、常温吸着式精製装置や常温吸着式空気精製装置といったガス精製装置の製造販売、除害筒・検知剤やアンモニア分解除害装置など排ガス処理装置の製造販売、室圧モニターや高精度圧力センサなど各種計測機器の製...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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