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排ガス処理装置 PFC触媒加熱分解装置 MODEL-WGF取扱企業
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大処理流量 (ℓ / min) | 最大PFC濃度 (%) | PFC分解率 | CF4処理量 (ℓ / 本) | 除害対象ガス | バージ用 N2 (ℓ / min) | 添加 Air (ℓ / min) | 添加 H2O (ℓ / min) | 冷却水 (ℓ / min) | 装置寸法 W×D×H (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
WGF |
要見積もり |
80 (添加Air含む) |
1 |
99.9%以上 |
1,500 |
CF4、C2F6、SF6、CO、CHF3等 |
~ 80 |
~ 20 |
若干量 |
13 |
1,250 × 1,050 × 2,000 |
