全てのカテゴリ

閲覧履歴

排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT-WGT
排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT-エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等のフッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより処理します。また、熱分解後の生成物 (SiO2粉、酸性ガス等) は同パッケージ内のウェットスクラバーにて後処理します。

■特長

・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能 ・最大処理流量500ℓ / min (4ポートまで対応可) の排ガスに対応可能 ・壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止 ・燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現 ・ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる循環ポンプトラブルを防止 ・各種センサーを装備することにより、安全対策は万全 ・タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易

  • シリーズ

    排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT

この製品を共有する


10人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません


排ガス処理装置注目ランキング

もっと見る

排ガス処理装置の製品87点中、注目ランキング上位6点

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大処理流量 (ℓ / min) 燃焼ガス (LPG) 流量 (ℓ / min) 新水流量 (ℓ / min) 計装ガス (MPa) 設備電力 装置寸法 W×D×H (mm) 除害対象ガス
排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT-品番-WGT

WGT

要見積もり

500 (4ポート使用時)

16

20

0.5 ~ 0.7 (若干量)

100V
3.4kVA

900 × 1,000 × 2,000

SiH4
NH3
BCl3
SiH2Cl2
CF4
CO
NF3
WF6
C4F6 等

この商品を見た方はこちらもチェックしています

排ガス処理装置をもっと見る

エア・ウォーター・メカトロニクスの取り扱い製品

エア・ウォーター・メカトロニクスの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本パイオニクス株式会社は、常温吸着式精製装置や常温吸着式空気精製装置といったガス精製装置の製造販売、除害筒・検知剤やアンモニア分解除害装置など排ガス処理装置の製造販売、室圧モニターや高精度圧力センサなど各種計測機器の製...

もっと見る

  • 本社所在地: 神奈川県
Copyright © 2024 Metoree