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アッシング装置の製品16点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 | 基板寸法 | 搬送方式 | 処理速度 | 装置構成 | 処理面 | 装置寸法 | 給水 | 冷却機構 | 排水 | 排気 | 圧縮空気 | 電源 | 投入 | 感光性レジスト現像 | 薬液管理 | 水洗 | 液切乾燥 | 排出 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SLS-300 |
要見積もり |
Metal Layer + Photo-Resist (Positive Type) |
L Max. 320 mm W Max. 80 mm t = 0.6 ~ 1.0 mm |
水平型 Roller 搬送式 Horizontal Roller Conveyor |
Standard 1.0 m /min. Variable 0.3 ~ 2.5 m / min. |
標準 Stand Alone In-Line System is option. |
上面 The upper side is the patterning. |
3,400L x 1,600W (*) x 1,250 H mm |
純水 D.I.Water ~ 15 LPM |
無 |
アルカリ Alkaline ~ 50LPM |
アルカリ Alkaline ~ 3,000LPM |
Clean Dry Air ~ 1,000 NLPM (* Using Air-Knife ) |
3φ 200V Approx. 10 kVA (50A/75AF) |
カセットローダはOption |
循環スプレ Circulation Spray+Brush Scrubbing |
オプション |
循環水洗 Circulation Rinsing Spray x 2 + 純水洗 D.I.W. Rinse |
Air-Knife |
カセット式アンローダはオプション |
