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フラットパネルディスプレイ製造関連装置 光配向基板走行装置 PAシリーズ取扱企業
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UV照射器の製品200点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 搬送速度 | 駆動方式 | ステージ回転 | 角度補正精度 | 角度補正方式 | ステージ走行精度 | 除電対策 | F.F.U. | 偏向測定器 | ステージ冷却 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PAシリーズ |
要見積もり |
5~500 mm/sec. |
リニアモータ (またはボールねじ＋ACサーボモータ) |
ハーモニックギヤ＋ACサーボモータ |
±0.01°以内 |
CCDカメラによる画像処理、オートアライメントによる角度補正 |
±0.5mm 以内 (振れ±0.05mm以内) |
フォトイオナイザ、除電バーを設置可能 |
ULPA、またはHEPA設置可能 |
搭載可能 |
別途打ち合わせ |
UV照射器をフィルターから探すことができます
ランプ出力 W/cm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500波長 nm
150 - 200 200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450照射強度 mW/cm²
0 - 100 100 - 1000 1000 - 5000 5000 - 15000消費電力 W
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 2000冷却方式
空冷 水冷ランプ寿命 時間
500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 3000 3000 - 8000 8000 - 30000
