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UV照射器の製品150点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 搬送速度 | 駆動方式 | ステージ回転 | 角度補正精度 | 角度補正方式 | ステージ走行精度 | 除電対策 | F.F.U. | 偏向測定器 | ステージ冷却 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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PAシリーズ |
要見積もり |
5~500 mm/sec. |
リニアモータ (またはボールねじ＋ACサーボモータ) |
ハーモニックギヤ＋ACサーボモータ |
±0.01°以内 |
CCDカメラによる画像処理、オートアライメントによる角度補正 |
±0.5mm 以内 (振れ±0.05mm以内) |
フォトイオナイザ、除電バーを設置可能 |
ULPA、またはHEPA設置可能 |
搭載可能 |
別途打ち合わせ |
