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除振ユニット アクティブ除振ユニット リニアモーター制御 制振リニアアクティブ除振台LHKP type-EST-L6HKP-200L
除振ユニット アクティブ除振ユニット リニアモーター制御 制振リニアアクティブ除振台LHKP type-倉敷化工株式会社

除振ユニット アクティブ除振ユニット リニアモーター制御 制振リニアアクティブ除振台LHKP type
倉敷化工株式会社



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この製品について

■半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート

リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が普及しているアクティブ除振台。制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を追求しました。

■エアをほとんど消費しません。

小型のコンプレッサーでも使用可能です。

■アクチュエータに高推力リニアモーターを採用。

除振性能に優れるLHタイプを制振用途にも使用可能に。

■MFF (モーションフィードフォワード制御) を搭載。

ステージ移動の情報を事前に入力することで、制振性能の向上を実現。

  • シリーズ

    除振ユニット アクティブ除振ユニット リニアモーター制御 制振リニアアクティブ除振台LHKP type

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除振ユニット アクティブ除振ユニット リニアモーター制御 制振リニアアクティブ除振台LHKP type 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) アクチュエータ 制御方法 レベリング方式 コントローラ 搭載質量 (kg) アイソレータ外形寸法 (mm) 作動時高さ (mm) アイソレータ質量 (kg)
除振ユニット アクティブ除振ユニット リニアモーター制御 制振リニアアクティブ除振台LHKP type-品番-EST-L6HKP-200L

EST-L6HKP-200L

要見積もり

リニアモーター

FB・FF 6自由度制御、
MFF (モーションフィードフォワード)

自動レベリング

デジタルコントローラ

340 ~ 570

315 × 315

220

70

フィルターから探す

除振台をフィルターから探すことができます

搭載可能重量 kg

0 - 50 50 - 150 150 - 500 500 - 1,500 1,500 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 30,000

固有振動数 Hz

1 - 3 3 - 6 6 - 13

製品重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

除振性能別着座時高さ mm

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 550

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

倉敷化工株式会社は、振動静音の自動車用ゴム部品の研究開発・製造販売や、産業用防振・防音・緩衝機器の製造販売を行っている会社です。 1964年に設立され、1998年にマツダ株式会社「品質保障有料認定」を取得しました。 ...

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  • 本社所在地: 岡山県
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