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ガス加熱器製品 小型ガス加熱器【HX-0020】-HX-0020
ガス加熱器製品 小型ガス加熱器【HX-0020】-株式会社リンテック

ガス加熱器製品 小型ガス加熱器【HX-0020】
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

最高加熱200℃でコンパクトな小型ガス加熱。

■特長

・面間160mm×幅55mmのコンパクト設計 ・N2ガス10SLMを200℃に加熱 ・接ガス部材 (SUS316L) を腐食しないガスの加熱が可能 ・真空、加圧でも使用が可能 使用例

■ALD、CVD装置のホットパージ

ALD、CVD等の真空成膜では液化ガスが多く使われますが、常温ガスでパージすると温度が冷えて凝縮し、逆にパージが不十分になる事があります。そこで、ホットパージが有効です。小型ガス加熱器 (HX-0020) はMFCとさほど変わらないフットプリントで、200℃までの加温が可能な為、ユースポイント直近でのガス加熱が可能な為、ALDやCVDなどの真空成膜装置のホットパージに最適です。

■シリーズ概要

HXシリーズは、リンテックの持つ高効率液体気化技術を応用した小型ヒータユニットです。

■シリーズ特徴

・コンパクトでありながらMax300℃の加熱を可能にした設計技術 ・圧力損失を極限まで低減することにより、流量制御後の配管に設置が可能 ・オールメタルのクリーン構造 ・異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵

  • シリーズ

    ガス加熱器製品 小型ガス加熱器【HX-0020】

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ガス加熱器製品 小型ガス加熱器【HX-0020】 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 流量 (N2換算) 圧力損失 耐圧 最大消費電力 (120V) 最大消費電力 (240V) 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接ガス部材質 取付姿勢 重量
ガス加熱器製品 小型ガス加熱器【HX-0020】-品番-HX-0020

HX-0020

要見積もり

10SLM

14kPa (10SLM N2)

1MPa (G)

100W

100W

K Type 1pc

PID

200℃

230℃±10℃ Open

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L

自由

1.0kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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