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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 加速電圧 | フィールドサイズ | 最小インクリメント | フィールド接合精度 | 重ね合わせ精度 | 最小線幅 | ビーム電流 | 走査スピード | ステージ位置読み取り分解能 | 収差補正 | 最大材料サイズ | 消費電力 | 標準フットプリント |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
JBX-A9 |
要見積もり |
100 kV |
1,000 μm |
0.25 nm |
±9 nm |
±9 nm |
≦8 nm |
50 pA ~ 400 nA |
200 MHz (最大) |
0.15 nm |
偏向焦点 |
300 mm ウエハー |
通常時5 kVA |
7.4 m × 5.3 m × 2.7 m (H) |
