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露点・SF6純度計 SF6ガス専用 MBW973-SF6-MBW973-SF6
露点・SF6純度計 SF6ガス専用 MBW973-SF6-株式会社テクネ計測

露点・SF6純度計 SF6ガス専用 MBW973-SF6
株式会社テクネ計測

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この製品について

■特徴

・スポットチェックに ・SF6ガス内露点管理 ・ガス変圧器、ガス遮断器 ・ガス絶縁開閉装置 ・半導体、液晶パネルのドライエッチング工程 ・SF6ガス回収リサイクル

■環境にいい測定器

SF6 (六フッ化硫黄) ガスは、京都議定書で削減目標が定められた温室効果ガスであり、単位体積当たり、CO2比約23,400倍の温室効果があると言われています。SF6ガスは遮断器・変圧器や、半導体プロセスなどに絶縁ガスとして使用され、その絶縁度を維持するために水分・SF6純度の測定は必要不可欠です。 一方、これまでは測定時に大気放出をするか、放出せずコストを掛け回収・分解を行うのが日本では一般的に行われてきました。MBW973-SF6を使用すれば、測定したSF6ガスを大気放出せずそのまま元の機器に戻すことが出来、大気放出をゼロにすることが可能です。

■高精度の測定

MBW973-SF6は露点・純度双方の測定において高精度のミラー式を採用しており、各±0.5℃、0.5%の高精度の測定を応答速良く、且つ経年劣化も少なく行う事が可能です。本機器を使用する事により、オペレーターの作業時間を大幅に削減し、信頼性のある測定を行う事が容易に可能となります。

■SO2測定オプション

SF6ガスは水分と反応することにより、HFガス、SO2ガスを精製します。MBW973-SF6では、0~100ppmまたは0~500ppmの範囲においてSO2を測定することが可能です。センサーは電気化学式セルを使用し、フルスケールの±2%の精度での測定が可能です。

■動作原理

まずペルチェ素子によって正確に温度制御された鏡面に光を照射し、その反射光の強さを受光部にて測定します。鏡面は清浄で結露がなければ光を最大限に反射します。この鏡面に結露が生じると光は分散されるので、反射光は減少します。 ペルチェ素子が更に鏡面温度を冷却すると、結露する量は増えていき反射光も減少していきますが、ある温度に達すると周囲のガス内に含まれる水分量と平衡に達して結露の量が変化しなくなります。この状態での鏡面温度を計測することで、露点を測定することができます。 鏡面が水の状態で結露している時は露点、氷の状態で結露している時は霜点になります。

  • シリーズ

    露点・SF6純度計 SF6ガス専用 MBW973-SF6

企業レビュー 5.0

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2024年1月26日にレビュー済み

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露点・SF6純度計 SF6ガス専用 MBW973-SF6 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定範囲 露点 測定範囲 SF6純度 測定範囲 SO2濃度 測定範囲 圧力 測定精度 測定方式 ORIS機能 表示部 デジタル出力 サンプリング 動作環境 (温度/湿度) 保管温度 電源 消費電力 サイズ/重量 主な用途 付属品
露点・SF6純度計 SF6ガス専用 MBW973-SF6-品番-MBW973-SF6

MBW973-SF6

要見積もり

-50~+20℃
ppmV:40~20,000ppmV
ppmW:5~2,500ppmW

80~100%

0~100ppmまたは0~500ppm (電気化学式)

0.12MPa~1MPa (絶対圧)

露点:±0.5℃、ppm:±1ppm+読値の6%
SF6純度:±0.5%
SO2濃度:フルスケールの±2%
圧力:±3kPa

露点センサー:鏡面冷却 (ミラー) 式、3ステージ、空冷方式
温度センサー:白金測温抵抗体 (Pt-100)

あり

5.7インチタッチパネル

RS-232 本体ロギング機能内蔵

接ガス部材質:SUS316L,FEP
シリンダ容量:1.5L
ポンプ能力:最大900kPa

-10~+40℃/最大98%RH (結露のなきこと)
動作圧力:20kPa~900kPaG
動作標高:最高2,000m

-20~+50℃

100~120VACまたは200~240VAC,50/60Hz

200W

機器本体:420W×155H×390D (mm) /16.5kg
ケース保管時:650W×370H×510D (mm) /32kg (機器重量を含む)

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

20.9時間


企業レビュー

5.0

会社概要

株式会社テクネ計測は、露点計と水分計およびそれらの周辺機器の製造販売を行っている会社です。

1978年に創業。露点計のみだったのを、周辺業務へ対応することにより、お客様の要望をさらに満たしてきています...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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