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真空対応静電電位センサ (KS-3101)-KS-3101
真空対応静電電位センサ (KS-3101)-春日電機株式会社

真空対応静電電位センサ (KS-3101)
春日電機株式会社

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この製品について

真空中では静電気を緩和するガス成分が希薄であるために、大気圧環境以上に静電気が深刻な生産障害の原因となります。 真空対応静電電位センサは真空環境での使用に耐えうる材料や部材を使用し、真空内で生じる静電気の測定にご使用いただけるセンサです。真空工程での静電気の発生原因の特定や、静電電位の連続監視にご使用ください。 諸特性

■大気圧、真空中でのリニアリティ

■真空対応静電電位センサによる真空チャンバへの影響の計測

・アウトガス分析比較 センサから放出されるアウトガスの分析によると、ガスの主成分は水と微量の炭化水素によるものであることが確認されました。それぞれのピークはバックグラウンドで計測されたピークと共通であることから、環境中からセンサ表面に吸着したガスに由来すると考えられます。 ・到達真空度の比較 排気装置:ターボ分子ポンプ TG220FCAB (株) 大阪真空機器製作所製 排気速度:220 L/sec (N2) チャンバサイズ:φ300 × L 300mm ※このデータは実測値であり、保証値ではありません。

  • シリーズ

    真空対応静電電位センサ (KS-3101)

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真空対応静電電位センサ (KS-3101) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 型式 検出方式 使用推奨真空度 測定範囲 測定精度 警報 使用環境 質量 構成必需品
真空対応静電電位センサ (KS-3101)-品番-KS-3101

KS-3101

要見積もり

KS-3101

振動型表面電位センサ

10^5Pa (大気圧) 、10^-1~10^-5Pa

HIGHレンジ:0~±20.0kV (測定距離100mm)
LOWレンジ :0~±2000V (測定距離10mm)

±10%以内

検出センサ故障LED表示

温度0~40℃、湿度65%以下 (結露なきこと)

約130g (ケーブル、制御ボックス含まず)

真空用ケーブル:KS-3101-C01 (ケーブル長1m、延長可能)
制御ボックス :KS-3101-B05 (大気側ケーブル5M付、延長可能)
コントローラ :KSD-0110

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

春日電機株式会社は、神奈川県川崎市に本社を置く、産業用電気機器のメーカーで、産業界の新素材開発や新しい生産技術の構築に寄与しています。
1955年に設立、静電気除去装置の製造を開始し、静電気制御、コロナ放電制御、...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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