RF-マッチングネットワーク
株式会社P.R.A.

💻 電子・電気機器業界用

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この製品について

■特長・RF電力ロスが少ない
・マッチングスピードが速い
・空冷
・フルカスタムで対応します
・DCバイアス、RFピーク電圧、等のモニター機能

■概要マッチャーによって、RF電力を半導体製造装置に効率よく送ることができます。電源とプラズマ負荷のインピーダンス整合を行います。

■マッチャーマッチャーとは、半導体製造装置に効率良くRF信号を送るための整合器になります。プラズマを効率良く発生させるためには、RF電源と半導体製造装置間のインピーダンス整合が必要となります。

現行品として、T社製の整合器が多くの半導体メーカーに利用されています。従来の整合器を用いた場合、発生する問題点として、「装置内部品の定格不足により劣化が発生」、「部品の劣化や故障が定期的に発生するため、寿命が短い」といった点が挙げられます。

■P.R.A.製マッチャー互換機の開発当社では従来品の問題点を改善し、平均故障間隔 (MeanTimeBetweenFailure;MTBF) の大幅な向上や、プロセス互換性の対策を施すことにより、新規取り付けにも問題無く従来品と載せ変えが可能なマッチャーを開発いたします。