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静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源-静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源
静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源-株式会社P.R.A.

静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源
株式会社P.R.A.

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この製品について

■特長

・既存の電源へのコンパチブル設計 (インターフェース・取付) 対応も可能です。 ・電流制限、極性反転、放電・機能の搭載により、ウェハーのデチャック性能を改善します。 ・クーロン型、J-R型、どちらのタイプにも対応します。

■概要

半導体製造装置で使用される高電圧電源に特有なテクニカル・アプリケーションの問題に対して、御客様個別の仕様に応じたデザイン&回路基板設計段階から対応することで、問題の改善、更には低コスト、短納期、そして高信頼性を実現します。

■静電チャック (ElectricStaticChuck;ESC) 用高圧電源

ウエハの 静電チャック方法は バイポーラのESC電源が主流ではあり、更にその技術的対処方法は以下の通りです。 ・プラス及びマイナス電極に対する電圧と、プラズマが発生した時に ウエハに発生するDCバイアス分、これらが静電チャックの吸著力に対して アンバランスを生じさせます。 ・これをキャンセルする為に ESC電源のセンタータップに対して バイアスをキャンセルする為のバイアス電圧を与え、これにより均等な吸著を実現させます。

■ESCとは

半導体素子を作るシリコンウエハや液晶パネル用のガラス基板などを扱う際に、これらを装置の真空チャンバー内で吸着・固定させることが必要になります。その時に従来のツメで固定する方法ではキズが付きやすく、特定の部分に強い力がかかって欠ける原因にもなります。 電極付近には逆極性の電荷が、またプレートの表面にはそのまた逆極性の電荷が現れることになります。この状態でプレートをシリコンウエハに近付けると、ウエハの中にも電荷が誘導されて、それぞれの電荷が引き合い、吸着されることになるのです。 その時の吸着力はプレート表面に出ている電荷の量によって決まります。この電荷を発生させるために高電圧電源 (ESCElectricStaticChuck電源) が必要となります。

■P.R.A.製ESC電源の開発

半導体製造装置で使用されているESC用の高電圧電源のほとんどは海外製であり、修理の際には海外メーカーに送って修理するために輸送コストを含めた修理費用が高価であり、修理納期も長くなっています。

  • シリーズ

    静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源

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静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 出力電圧 出力電流 極性 センタータップ・ポジション インターフェース
静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源-品番-静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源

静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源

要見積もり

±1~±5kV

1~10mA

ユニポーラ・単極/パイポーラ・双極

Floaring/FG/Bias

パラレル (アナログI/O) 、シリアル (RS-232C) 、他

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高圧電源ユニットをフィルターから探すことができます

出力電圧 V

-200000 - -10000 -10000 - -1000 -1000 - -100 -100 - 0 0 - 100 100 - 1000 1000 - 10000 10000 - 100000

出力電流 mA

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1000 1000 - 10000 10000 - 100000 100000 - 300000

入力電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450

出力電力 W

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1000 1000 - 2500

重量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40

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会社概要

P.R.A.は2004年1月設立以来、半導体製造装置周辺機器の国内の製造・修理・アップグレードのリーディングカンパニーとして、大手企業様と数多くの取引をさせて頂いております。
専門的なエンジニアリングケーパビリテ...

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