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静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 出力電圧 | 出力電流 | 極性 | センタータップ・ポジション | インターフェース |
---|---|---|---|---|---|---|---|
静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源 |
要見積もり |
±1~±5kV |
1~10mA |
ユニポーラ・単極/パイポーラ・双極 |
Floaring/FG/Bias |
パラレル (アナログI/O) 、シリアル (RS-232C) 、他 |
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出力電圧 V
-200000 - -10000 -10000 - -1000 -1000 - -100 -100 - 0 0 - 100 100 - 1000 1000 - 10000 10000 - 100000出力電流 mA
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1000 1000 - 10000 10000 - 100000 100000 - 300000入力電圧 V
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450出力電力 W
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1000 1000 - 2500重量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40