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超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 BG排水処理装置-BG排水処理装置
超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 BG排水処理装置-株式会社オーセンテック

超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 BG排水処理装置
株式会社オーセンテック



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この製品について

■シリコンウエハー研磨排水処理

半導体製造プロセスの後工程における「BG (バックグラインド) 」及び「ダイシングソー」工程での超純水排水は、一般的に純水中にシリコン研磨排水 (粒子) のみを含んだものです。このプロセス工程のみを分離回収することで排水をリサイクルすることは、昨今どこの企業でも導入が進んでいます。

■BGとは

バックグラインドの略称。半導体のシリコンウエハーを研磨すること。

■用途

・半導体工場のシリコンウエハーの研磨時に出てくる排水の濃縮装置。排水の濃縮 (減容) 化による産業廃棄物処分費の削減を目的とした装置です。 ・シリコン排水は、排水基準に含まれている物質ではないが、見た目が真っ黒な排水のため、そのまま放流することで企業イメージが悪くなることを避けるために処理を行います。 ・原水が5,000~7,000ppmで排出されたものを100,000ppmまで濃縮して外部に産業廃棄物として反室します。粒子径は、0.1μmが一番多く、両サイドに分伏していきます。 (研磨するヤスリによって粒子径は変化します)

■仕様

0.84m3/h シリコン排水を100,000ppmまで濃縮が可能

  • シリーズ

    超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 BG排水処理装置

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超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 BG排水処理装置 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社オーセンテックは、1999年に設立した、水処理に伴う装置の提案、設計、販売および保守を行う企業です。 製品の一例として、地下水・井戸水の徐鉄徐マンガン軟水化装置が挙げられます。イオン交換樹脂を用いて、処理前の水...

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  • 本社所在地: 岐阜県
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