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超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 ダイシング排水処理装置-ダイシング排水処理装置
超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 ダイシング排水処理装置-株式会社オーセンテック

超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 ダイシング排水処理装置
株式会社オーセンテック

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この製品について

■シリコンウエハー研磨排水処理

半導体製造プロセスの後工程における「BG (バックグラインド) 」及び「ダイシングソー」工程での超純水排水は、一般的に純水中にシリコン研磨排水 (粒子) のみを含んだものです。このプロセス工程のみを分離回収することで排水をリサイクルすることは、昨今どこの企業でも導入が進んでいます。

■ダイシングとは

一般的に、半導体をウエハーに付けた後にカットすることをダイシングといいます。

■用途

半導体工場にて、ダイシング装置より排出された排水を処理します。懸濁物質を除去して純水を再利用します。まれに純度などの測定値次第では、RO装置の処理水タンクに戻す場合もあります。安全を考慮すると、戻す場所は純水装置の原水タンクとなります。粒子径は0.2μmが一番多い (両サイドに分乗していきます。)

■仕様

5m3/h (回収率95%以上)

  • シリーズ

    超純水・排水処理技術 排水濃縮装置 ダイシング排水処理装置

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会社概要

株式会社オーセンテックは、1999年に設立した、水処理に伴う装置の提案、設計、販売および保守を行う企業です。 製品の一例として、地下水・井戸水の徐鉄徐マンガン軟水化装置が挙げられます。イオン交換樹脂を用いて、処理前の水...

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