Vシリーズ L型バルブ V-040LV/V-065LV/V-100LV-STDシリーズ 40

V-100LV
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

10^-7 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。バルブは手動または圧空で、さまざまな接続フランジの種類を取り揃えています。

本バルブは、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブです。バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用することで長寿命化 (当社比※1) を図りました。また、MSBシリーズはボンネット部にメタル中空Oリングを使用しているため、大気からのガス透過が無くガス分析真空装置などに最適です。バルブの種類は手動，圧空駆動ともサイズ及び接続フランジの種類が豊富に揃っています。

特長
■超高真空領域まで使用可能STDシリーズは10^-7 Pa程度、MSBシリーズは10^-8 Pa程度※3の超高真空領域までご使用可能

■長寿命バルブ内蔵されているベローズは成形ベローズです。材質はコスト及び寿命を考慮しハステロイ合金を使用

■開閉ポジションセンサスイッチ標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、開閉用のポジションセンサスイッチ (磁気センサー) を装備

■優れた許容加熱性圧空駆動式バルブのエアーシリンダ耐熱120 ℃の高温仕様となっています。そのため、バルブ開時のバルブボディ部加熱温度はSTDシリーズで150 ℃,MSBシリーズで200 ℃までベークアウトが可能 (但し、エアシリンダは120 ℃、センサスイッチは60 ℃を超えないようにご注意願います。)

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
Vシリーズ L型バルブ V-040LV/V-065LV/V-100LV

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

カテゴリ

弁

アングルバルブ

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Vシリーズ L型バルブ V-040LV/V-065LV/V-100LV 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用圧力領域	Heリーク量弁座部	Heリーク量外部	許容加熱温度バルブ開時	許容加熱温度バルブ閉時	主要部材質バルブボディ	主要部材質ベローズ	主要部材質駆動部	主要部材質真空シール材	作動エアー圧	エアー消費量 (L/サイクル)	エアー供給口	使用流体	接続フランジ ICFフランジ	接続フランジ NWフランジ	接続フランジ旧JISフランジ
	STDシリーズ 40	要見積もり	大気圧~10^-7 Pa程度	6.7×10^-11 Pa･m3/sec以下	6.7×10^-11 Pa･m3/sec以下	150 ℃	125 ℃	SUS-304	ハステロイC-22	エアーシリンダ (圧空駆動式バルブ) ：アルミ合金、ふっ素ゴムなど、ハンドル (手動バルブ) ：アルミ合金	ふっ素ゴムOリング	0.4 ~ 0.6 MPa	0.12	Rc1/8	大気またはガス (腐食性ガスを除く)	φ70ICF回転	NW40	旧JIS 40A