超高真空バリアブルリークバルブ (真空バルブ) -超高真空バリアブルリークバルブ (真空バルブ)

超高真空バリアブルリークバルブ (真空バルブ)
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

調節可能最少リーク量が6.7×10^-9 Pa・m3/sec以下と微少流量領域からのガス導入が可能なバルブです。

本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10^-9 Pa・m3/s以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。

特長
■熱と外部衝撃に強いシール部シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません

■微少ガス流量を安定調節調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/s以下 (Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2 MPa時) と、きわめて微少ガス流量の導入が可能

■優れた許容加熱性全金属製で450 ℃までのベーキングが可能

■その他・広範囲ガス流量の調節が可能
・超高真空接続可能

■用途・導入ガス流量の調節を必要とする真空装置
・スパッタ装置、ガス分析装置
・物理学実験・研究用装置等

■ガスケットの寿命・約300回シール (室温使用時) 
・約30回シール (ベーキングを伴う場合) 
・ガスケット交換可能

■構成部品材料・本体 ： SUS-304
・シール部 ： WC系超硬合金
・ガスケット ： Cu合金

■添付品・951-9160ガスケット2個
・951-9160リング2個
・951-9160スパナ1本
・呼び5六角棒スパナ1本
・呼び8六角棒スパナ1本

■ガスケットの寿命・約300回シール (室温使用時) 
・約30回シール (ベーキングを伴う場合) 
・ガスケット交換可能

■構成部品材料・本体 ： SUS-304
・シール部 ： WC系超硬合金
・ガスケット ： Cu合金

■添付品・951-9160ガスケット2個
・951-9160リング2個
・951-9160スパナ1本
・呼び5六角棒スパナ1本
・呼び8六角棒スパナ1本

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超高真空バリアブルリークバルブ (真空バルブ)

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

カテゴリ

弁

真空バルブ

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超高真空バリアブルリークバルブ (真空バルブ) 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用真空領域	調節可能最少リーク量	バルブ全閉時リーク量	許容加熱温度	接続フランジガスOUTLET側	接続フランジガスINLET側	質量
	超高真空バリアブルリークバルブ (真空バルブ)	要見積もり	大気圧~10^-8 Pa程度	6.7×10^-9 Pa・m3/s以下	6.7×10^-11 Pa・m3/s以下	450 ℃ (開閉いずれも可)	φ70ICF固定フランジ	φ8×φ6SUS-304管 (951-7170) 、φ34ICF固定フランジ付 (951-7172)	1.3 kg