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リークバルブ (真空バルブ) -951-7177
リークバルブ (真空バルブ) -キヤノンアネルバ株式会社

リークバルブ (真空バルブ)
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはふっ素ゴム (バイトン) を使用しています。 特長

■超高真空領域用

10^-7 Pa程度の超高真空領域まで使用可能

■優れた許容加熱性

125 ℃までのベークアウト可能

■その他

特定ガス導入可能 (“O”リングシールタイプは除く)

■主要部材質

・真空シール材 : ふっ素ゴム (バイトン) ・軸シール材 : ふっ素ゴム (バイトン) “O”リング ・軸シール潤滑材 : 高真空用シリコーングリース ・バルブボディ軸 : SUS304 ・弁体 : 黄銅 (Niメッキ) ・ハンドル : フェノール樹脂

  • シリーズ

    リークバルブ (真空バルブ)

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リークバルブ (真空バルブ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用真空領域 バルブ全閉時リーク量 オリフィス径 許容加熱温度 接続フランジ 質量
リークバルブ (真空バルブ) -品番-951-7177

951-7177

要見積もり

大気圧 ~ 10^-7 Pa程度

6.7×10^-11 Pa・m3/s以下

φ3.5 mm

125 ℃

φ70ICF、NW25フランジ

0.4 kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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