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四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ-M-101GA-DF
四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

用途に合わせて最適な四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組み合わせが可能なガス分析システムです。 四重極型質量分析計の応用技術製品です。各種ガス分析、研究開発分野において最適なガス分析システムです。用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。 特長

■カスタマイズシステム

・用途に合わせて、四重極型質量分析計、ガス導入系、その他オプションを組み合わせシステムアップ可能 ・分析計はM-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M (高感度/高速) の5機種より選択可能

■小型、省スペース

小型架台に四重極型質量分析計、TMP排気系を搭載したコンパクトな構造

■容易な操作性

パソコン制御による容易な測定が可能

■用途

・真空装置残留ガス分析 ・熱天秤放出ガス分析 ・昇温脱離ガス分析 ・炉内ガス分析、モニタリング ・真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、 ・電子ビーム式溶解炉 (EB炉) 、ウエハ引上炉 など ・密封ガス分析 等

  • シリーズ

    四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ

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四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 分析計 測定質量数 検出感度 到達圧力 導入可能ガス圧力 サンプルガス圧力 ソフト機能 用力 電源 用力 N2ガス 接続フランジ
四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ-品番-M-101GA-DF

M-101GA-DF

要見積もり

M-101QA-TDF

1~100 m/z

100 ppm

5×10^-6 Pa以下

VLV キャピラリ導入系 SS-1M

多重イオン検出モード、分圧測定モード、マスピークモード、リークテストモード

AC100 V 2.0 kVA

0.5 MPa (N2パージが必要な場合ご用意下さい。)

φ70ICF

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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