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四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ-M-070GA-CRFY
四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

シンプル設計且つ、多彩なオプションからの選択・取付けで様々な用途に対応する組み合わせ自由度の高いガス分析システムです。 「コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ」はキヤノンアネルバの長年の多岐にわたるガス分析への対応実績によって培われたガス分析に関するノウハウを生かして、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。すでにマスフィルタを所有されている場合は、後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でもご注文いただけます。 特長

■フレキシブルにカスタマイズが可能

基本構成 (排気系＋マスフィルタ) を選択、さらに各種ご用途を想定し、あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、お客様のご用途に最適なシステム構成とすることが可能です。

■省スペース

W480 mm×D500 mmの省スペースに設置が可能です。

■簡単操作

シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、安心してご使用いただけます。 用途

■研究開発用途ガス測定

・炉内ガス分析、モニタリング ・真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、 ・電子ビーム式溶解炉 (EB炉) 、ウエハ引上炉　など ・昇温脱離ガス分析 ・触媒反応ガス分析

■プロセス装置用途ガス分析

・真空装置のプロセスガス測定 ・真空装置の残留ガス測定／リーク検出 基本構成品一覧

■排気系 (2種類)

M-001GA-CR (RP仕様) 、M-001GA-CD (ドライポンプ仕様)

■四重極質量分析計 (7種類)

M-070QA-TDF、M-101QA-TDF (Y) 、M-101QA-TDM (Y) 、M-201QA-TDF (Y) 、M-101QA-TDF (W) 、M-101QA-TDM (W) 、M-201QA-TDF (W)

  • シリーズ

    四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ

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四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 四重極分析計 質量数範囲 検出感度 到達圧力 ソフト機能 電源
四重極型質量分析計 コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ-品番-M-070GA-CRFY

M-070GA-CRFY

要見積もり

M-070QA-TDF

m/z=1~70

100 PPM

1×10^-5 Pa以下

QUADVISION2 Win7

AC100 V 1.0 KVA

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キヤノンアネルバ株式会社

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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