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四重極型質量分析計プロセスガスモニタ-M-080QA-HPM
四重極型質量分析計プロセスガスモニタ-キヤノンアネルバ株式会社

四重極型質量分析計プロセスガスモニタ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

10^-9 Pa~2 Paの広範囲の圧力領域で動作可能で、到達圧力からスパッタリングプロセス圧力までをシームレスに測定可能です。 M-080QA-HPMは、10^-9 Pa ~ 2 Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。 独自の技術により、超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。 成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。

■特長

・チャンバー到達圧力からスパッタプロセス圧力までをシームレスに測定 ・成膜中に高感度で水素を検出可能 ・メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト ・様々なアラーム機能により生産中に異常を検出

■用途

・成膜中の品質管理 ・残留ガス分析 ・リークチェック

  • シリーズ

    四重極型質量分析計プロセスガスモニタ

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四重極型質量分析計プロセスガスモニタ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定質量数範囲 動作圧力 最小検知濃度 感度 (N2) FC 感度 (N2) SEM 分解能 フィラメント ベーク温度 接続フランジ 定格入力電圧 質量 分析管 質量 コントローラ 通信インターフェイス 制御ソフト
四重極型質量分析計プロセスガスモニタ-品番-M-080QA-HPM

M-080QA-HPM

要見積もり

1~80 m/z

2 Pa以下

5 ppm (H2を除く) 、H2:100 ppm以下

7.5×10^-9 A/Pa以上

7.5×10^-5 A/Pa以上

< 1 amu @10 % of peak heigt

イットリアコートイリジウム1本

250 ℃ (分析管のみ)

φ70ICF

AC100 V~AC240 V

1.1 kg

2.2 kg

RS-232C/485

QUADVISION3 Windows7, 8.1, 10対応

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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