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マグネトロンスパッタリングカソード-MAG2”-ISO (ISO-K タイプフランジ)
マグネトロンスパッタリングカソード-テルモセラ・ジャパン株式会社

マグネトロンスパッタリングカソード
テルモセラ・ジャパン株式会社



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この製品について

■概要

・高真空対応・メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード ・クランプリング採用 ターゲットの交換が容易 ・Φ2inch~Φ4inch サイズ ・磁性材用・チムニーポート・ガスインジェクション・シャッター等オプション豊富

■オプション

・シャッター ・ガスインジェクション ・チムニーポート ・磁性材料用高強度マグネット ・クロスコンタミシールド

  • シリーズ

    マグネトロンスパッタリングカソード

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マグネトロンスパッタリングカソード 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) RF, DC, パルス 水冷式 ターゲット厚さ ケース材質 ターゲットクランプ材質 ベローズ (Flexi-head タイプ) 絶縁材 シール材 高強度マグネットパック
マグネトロンスパッタリングカソード-品番-MAG2”-ISO (ISO-K タイプフランジ)

MAG2”-ISO (ISO-K タイプフランジ)

要見積もり

DC兼用

4ℓ/min, 0.35Mpa

1/16"~1/4"

SUS304

AI, or SUS304

SUS316

PEEK/PTFE

Viton

Nile;エポキシ封入

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより先端分野発展の一旦を担い、...

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  • 本社所在地: 東京都
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