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BH series 超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター-BHS-1GR-P-R0
BH series 超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター-テルモセラ・ジャパン株式会社

BH series 超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター
テルモセラ・ジャパン株式会社

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この製品について

■CVD, PVD (スパッタ・蒸着) 真空アニール用面状基板加熱ユニット

・Max 1,800℃ グラファイト素線 _ 真空中 , 不活性ガス (Ar, N2) ・Max 1,500℃ SiC コート グラファイト素線 _ 真空中 , 不活性ガス (Ar, N2) , 還元ガス (H2, He) , O2 ・Max 1,800℃ PG コート CCC 素線 _ 真空中 , 不活性ガス (Ar, N2) ・Max 900℃ NiCr, カンタル素線 _ 真空中 , 不活性ガス (Ar, N2) , 還元ガス (H2, He) , O2 ・Max 1,600℃ タングステン素線 **_ 真空中 , 不活性ガス (Ar, N2) , 還元ガス (H2, He)

■特徴

高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。PVD (スパッタ、蒸着、EB 等) 、高温真空アニール、高温解析用基板ステージなどに応用頂けます。幅広い研究開発目的に合わせて設計製作致します。

  • シリーズ

    BH series 超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター

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BH series 超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ヒーター素線 最高制御温度 仕様雰囲気
BH series 超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター-品番-BHS-1GR-P-R0

BHS-1GR-P-R0

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グラファイト

1,800℃

HV、Ar、N2

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この商品の取り扱い会社情報

テルモセラ・ジャパン株式会社

会社概要

半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより先端分野発展の一旦を担い、...

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  • 本社所在地: 東京都
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