高周波パルス電源
ネクスファイ・テクノロジー株式会社

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この製品について

■製品概要ネクスファイ・テクノロジー株式会社は、独自の技術でパワーデバイスであるSiCの応用製品として、高電圧・高周波パルス電源のラインアップを揃えました。

■特徴独自の技術でパルストランスを開発、高電圧・高周波パルスを実現しました。

■オプション多出力の対応も可能です。

■主な用途・大気圧プラズマ
・液中プラズマ
・成膜装置
・その他

事例紹介・プラズマ応用
■低温プラズマ低温プラズマ (コールドプラズマ) とは、常温や低圧の環境で発生するプラズマで、電子温度のみが高いプラズマです。プラズマは、熱や電流などによって気体が超高エネルギー状態になり、原子から電子が解放されたときに発生します。低温プラズマは、電子、中性子、陽子が同じ温度になっているわけではなく、電子だけが過熱された状態です。低温プラズマの市場規模は急成長しており、今後応用が広がっていくと期待されております。

■大気圧プラズマ大気圧プラズマとは、大気圧下でプラズマを発生させる技術です。プラズマはガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態で、大気圧プラズマではこのプラズマを安定して発生させることができます。大気圧プラズマは、低温で処理が可能で、薬液などを使用しないため環境にやさしいという特徴があります。表面洗浄や有機物除去、表面改質、エッチングなどで農業・医療・電子材料製造など多くに分野で応用されております。

■NexFi高周波電源による大気圧プラズマ通常、大気圧プラズマは数～数十kHzで利用されている場合が多いです。これは電源性能による制限が主要因であると考えられます。低周波ではプラズマは間欠的な発生となりますが、高周波化する事で準平衡プラズマへと移行し、プラズマ密度が高くなり、安定したプラズマが発生できます。

■液中プラズマ液中プラズマとは、液体中に高密度のエネルギーを与えてプラズマを発生させる技術のことです。液中プラズマは、オゾン、OHラジカル、衝撃波、紫外線、微小バブルなどを発生させることができます。この技術を使えば、油や廃液などの有機溶媒を直接プラズマで分解し、水素を取り出すこともできます。

有機物の分解、ナノ粒子の生成、材料の表面改質などが効果的に行われるため、医療・環境 (汚染物質の分解) ・エレクトロニクスなど多くに分野で応用されております。