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搬送機/ロボット ウエハローダ AL120-AL120
搬送機/ロボット ウエハローダ AL120-株式会社菱光社

搬送機/ロボット ウエハローダ AL120
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この製品について

■概要

AL120ウェハローダは小径から200mmまでのウェハサイズに対応した、シリコン・化合物ウェハをカセットから顕微鏡ステージに搬送する装置です。極薄化するウェハも対応して、ウェハの安全・効率搬送で半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します。 特長

■広い適応性と高い信頼性　ウエハサイズ、検査内容に応じて最適な1台を選択可能

200mmウエハ専用タイプ、200mm/150mm兼用タイプ、150mmタイプ (150mm以下のウエハに対応) の3種類を用意しています。さらに検査内容に応じてミクロ検査専用モデル「Lタイプ」とミクロ・マクロ検査兼用モデル「LMBタイプ」から選択できます。

■薄ウエハ検査

高まる薄ウエハ工程ニーズに応えて、AL120-LMB-90には90umの薄さのウエハまでをカセット25枚のウエハを搬送できる新型アームを搭載しています。

■ウエハの搬送と各種検査動作のアプリケーションソフトを独自に作成可能

オプションの「AL120 RS232C 通信ユニット」を利用することにより、AL120の外部制御が可能です。また、付属のDLLを使用することにより、アプリケーションソフトを簡単に作成できます。

■進化した精密検査機能　進化したマクロ検査

裏面マクロ検査はキズやゴミを見つけやすい最大360゜の傾斜角に対応しています。360゜回転機能を利用することにより、ウエハのエッジ周辺までくまなく目視検査が可能です。また、表面マクロ検査では、手元のジョイスティックで最大30°まで自由に傾けて観察できます。

■容易な操作性

AL120は最大10件の検査プログラムを登録でき、多様な検査方法に一台で対応できます。この機能を使い特定のカセットやウェハにも対応でき、オペレータはボタンひとつの選択で検査プログラムを切り替えることが可能です。

■高い信頼性　安全性を考慮した設計

ウエハを安全にセットできるように、装置の正面からカセットを設置するデザインを採用しています。安全性・エルゴノミはSEMI S2/S8評価を得ており、RoHSにも対応するなど環境にも配慮しています。

  • シリーズ

    搬送機/ロボット ウエハローダ AL120

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AL120

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100 - 500 500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 50000 50000 - 100000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

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会社概要

株式会社菱光社は、1947年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。

創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから...

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  • 本社所在地: 東京都

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