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微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B-AH-210B
微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B-株式会社菱光社

微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B
株式会社菱光社

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この製品について

■特長

・最小測定線幅：1μm以上 ・測定再現性：3σ=0.01μm以内 ・測定画面上でパターンの方向を選ばない ・既存顕微鏡システムへの取り付け可能 ・測定を自動化することで人的誤差の低減ならびに測定時間を短縮

■線幅検出機能

線幅用のアルゴリズムにより画面に対して測定線幅が傾いていても正しい線幅として測定ができます。傾いていても傾きを認識・補正、正しく線幅を測定するので作業者の負担を軽減します。

■エッジ検出

輝度波形にエッジ検出のしきい値を設けることで線幅測定を行います。白線や黒線だけでなく、レジストのようなテーパー部で徐々に輝度が変化するようなデバイスでも、同じ検出条件で測定することで、安定した測定を可能とします。

■使用用途例

・液晶カラーフィルタ、レジストの線幅 ・半導体ウェハーの約1μmまでの線幅測定 ・TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定 ・ガラスマスクの線幅測定 ・電子部品の各部測定

  • シリーズ

    微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B

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2025年4月10日にレビュー済み

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微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 映像方式 素子サイズ 有効画素数 フレームレート 最小測定寸法 測定再現性 合焦精度 AF検出方法 AF検出位置 Z軸制御 Z軸分解能
微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B-品番-AH-210B

AH-210B

要見積もり

CCDモノクロカメラ

1/1.8インチ

1,624×1,236 pix (約200万画素)

30fps

1μm

3σ=0.01μm以内

対物レンズの焦点深度の約1/3以内

デジタルカメラの映像信号の画像処理方式

映像視野内の任意の高さと領域の設定で AF 可能

5相ステッピングモータ

0.005μm (取り付けるシステムによって異なる)

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寸法測定器をフィルターから探すことができます

使用用途

#データ管理 #画像光学観察 #内径 #溝幅 #判定選別 #位置決め #厚さ #ピッチ #効率化

測定範囲 X軸 mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

測定範囲 Z軸 mm

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 1

繰返し位置決め精度 μm

0 - 2 2 - 4 4 - 6

光学分解能 μm/pix

0 - 5 5 - 10

カメラ 有効画素数 万画素

200 - 300 300 - 600

駆動方式

リニアゲージ リニアモーター

電源電圧 V

AC100V AC200V AC220V AC240V

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株式会社菱光社

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会社概要

株式会社菱光社は、1947年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。

創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから...

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  • 本社所在地: 東京都

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