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微小寸法測定装置 自動線幅測定システム AH-210B取扱企業
株式会社菱光社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 映像方式 | 素子サイズ | 有効画素数 | フレームレート | 最小測定寸法 | 測定再現性 | 合焦精度 | AF検出方法 | AF検出位置 | Z軸制御 | Z軸分解能 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
AH-210B |
要見積もり |
CCDモノクロカメラ |
1/1.8インチ |
1,624×1,236 pix (約200万画素) |
30fps |
1μm |
3σ=0.01μm以内 |
対物レンズの焦点深度の約1/3以内 |
デジタルカメラの映像信号の画像処理方式 |
映像視野内の任意の高さと領域の設定で AF 可能 |
5相ステッピングモータ |
0.005μm (取り付けるシステムによって異なる) |