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高性能セミオートプローバー TS3000-SE-TS3000-SE
高性能セミオートプローバー TS3000-SE-緑屋電気株式会社

高性能セミオートプローバー TS3000-SE
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この製品について

TS3000-SEは高性能、超低ノイズ、高精度でありながらテストコスト削減のもとに設計された高いパフォーマンスを持つセミオートプローバーです。微小電流測定、高い信頼性のDC/IV測定、1/f、RTS、RF測定,パワーデバイス測定などすべてにおいて最高のパフォーマンスを発揮します。 ShielDEnvironment™により、優れたシールド環境下で最大60℃から300℃での温調試験が可能です。チップサイズから最大12インチウェハまで対応しております。

■ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™は優れたEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、超低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。

■ShielDCap™

ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。

■イージーウェハローディング

大きく開くデュアルフロントドアにより、大きなウェハやチップも出し入れが容易に行えます。校正基板用サブステージも正面に配置され、RFキャリブレーションやプローブカードのクリーニングなど容易に自動化が可能です。

■ハードウェアコントロールパネル

長年の経験とユーザーの要望に基づいて設計された高機能なハードウェアコントロールパネルにより、より迅速に、より安全で便利な操作とテスト操作を提供致します。キーボード・マウスは必要に応じて使用できるよう収納・配置されております。

■サーマルコントロール

スマートチラーの統合により、TS3000シリーズは実験室の貴重なスペースを圧迫せず、最適な設置フットプリントを提供致します。高性能サーマルチャックシステムにより広い温度レンジで、多彩な測定が可能です。

■ERSエアクールテクノロジー

冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。

  • シリーズ

    高性能セミオートプローバー TS3000-SE

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高性能セミオートプローバー TS3000-SE 品番1件

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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