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高性能セミオートプローバー TS3000-TS3000
高性能セミオートプローバー TS3000-緑屋電気株式会社

高性能セミオートプローバー TS3000
緑屋電気株式会社

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この製品について

TS3000は最大12インチウェハサイズに対応した高性能・高機能セミオートプローバーです。最大ー60~300℃の温度範囲での温調が可能であり、不良解析、ウェハ信頼性試験、RFやmmW測定など様々な測定に柔軟に対応します。装置設置エリア内にチラーユニットを含め、非常に小さなフットプリントでの設置が可能です。

■IceFreeEnvironment™

IceFreeEnvironment™を採用したTS3000は広い開口を持ちながらも-60~300℃までの温調範囲での測定が可能です。ポジショナーやプローブカードなど自由度の高いセッティングが可能です。

■ラージエリアプラテン

最大12個のDC、または4個のRFのポジショナーを設置可能。ロードプル測定用チューナーや大型プラテン設置など自由度も高く、RF測定やmmW測定において最適な環境です。

■デュアルフロントドア

大きく開くデュアルフロントドアにより、大きなウェハやチップも出し入れが容易に行えます。校正基板用サブステージも正面に配置され、RFキャリブレーションやプローブカードのクリーニングなど容易に自動化が可能です。

■ハードウェアコントロールパネル

長年の経験とユーザーの要望に基づいて設計された高機能なハードウェアコントロールパネルにより、より迅速に、より安全で便利な操作とテスト操作を提供致します。キーボード・マウスは必要に応じて使用できるよう収納・配置されております。

■サーマルコントロール

スマートチラーの統合により、TS3000シリーズは実験室の貴重なスペースを圧迫せず、最適な設置フットプリントを提供致します。高性能サーマルチャックシステムにより広い温度レンジで、多彩な測定が可能です。

■ERSエアクールテクノロジー

冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。

■プローブカード&ポジショナー

シングルプローブ、4.5"×11"プローブカード、アクティブ/パッシブハイインピーダンスプローブを低温環境下で同時プロービングなど、非常に自由度の高いセッティングが可能であり、品質保証試験や不良解析など様々なアプリケーションに対応いたします。

  • シリーズ

    高性能セミオートプローバー TS3000

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高性能セミオートプローバー TS3000-品番-TS3000

TS3000

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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  • 本社所在地: 東京都
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