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セミオートプローバー TS2000-TS2000
セミオートプローバー TS2000-緑屋電気株式会社

セミオートプローバー TS2000
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この製品について

不良解析、ウェハ信頼性試験、RFやmmW測定など様々な測定に対応する最大8インチウェハ対応セミオートプローバーです。室温近傍もしくは高温での温調試験に対応しております。ディスクリートRFデバイスの電気的試験などに最適です。

■大型プローブプラテン

TS2000はDC最大12端子、RF最大4端子に対応するために、非常に大きく、アクセスのしやすさを考慮したプローブプラテンを搭載しております。ロードプルチューナーや大型ポジショナーなど搭載が可能で、RF及びmmW測定に最適です。

■イージーウェハローディング

大きなフロントドアアクセスにより4インチ、6インチ、8インチのウェハやチップなどのロード/アンロードが容易です。正面に配置されたAUXチャックは、校正基板等の出し入れが非常に容易であり、段差がなくRFキャリブレーションやプローブカードクリーニングの自動化が可能です。

■コントロールパネル

プローブシステムに完全に統合されたコントロールパネルにより、より速く、より安全で便利なシステム制御と測定を提供するために、経験と実績に基づいて設計されています。本体内部に収納されたキーボードとマウスは、必要に応じてお使い頂けます。 ウェハ及びAUXチャック用真空スイッチは装置前面に配置され、操作性に優れております。

■サーマルチャックシステム

サーマルチャック (室温～最大300℃) は本体に統合されたタッチスクリーンディスプレイにより迅速な操作と正確なオペレーションが可能です。

■プローブカードとポジショナー

標準的な4.5”プローブカード設置や複数台のポジショナー設置さらには、プローブカード使用時にアクティブプローブによる同時作業プロービングに最適であり、デバイス設計確認や不良解析などに非常に適しております。

■ダークボックス

TS2000-Dはダークボックス搭載タイプです。インターロック、LED照明、コネクタパネルが搭載され、光やレーザーを使用する測定環境に非常に有効なシステムです。背面パネルからアクセスできるため、迅速なセッティングが可能です。

■インスツルメンツシェルフ

装置背面に設置したインスツルメンツシェルフオプションにより、RFやmmW測定において測定器を直近に設置し、極力ケーブルを短くした測定のセッティングが可能です。

  • シリーズ

    セミオートプローバー TS2000

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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