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シールドチャンバーマニュアルプローバーTS200-SE-TS200-SE
シールドチャンバーマニュアルプローバーTS200-SE-緑屋電気株式会社

シールドチャンバーマニュアルプローバーTS200-SE
緑屋電気株式会社

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この製品について

ShielDEnvironment™により、EMI対策、RFI対策、遮光に優れた設計がされています。-60~300℃の温度範囲で低ノイズ、低リーク測定が可能です。最大8インチウェハ対応。

■ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™ はEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。温調システムと組み合わせることで、-60℃までの低温環境下での測定が可能です。

■ShielDCap™

ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。

■エアベアリングステージ

エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。

■プラテンリフト&プローブホバー

測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース (プラテン) 位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション (300µm) 、ローディングポジション (3mm) を正確にコントロール可能です。 追加されたProbe Hover Control™ (50,100,150µmの高さ) により容易なプローブとパッドの位置合わせが可能になりました。

■チャックZコントロール

TS200-SEはXYステージのエアベアリングに加えて、微細で正確なコンタクト・オーバートラベル制御またはプローブカードのコンタクト補正のためのµmレベルの分解能のチャック Z調整機能を搭載しています。

■様々なチャックオプション

サーマルチャックシステムは-60℃、-40℃、-10℃、室温から200℃または300℃と用途に応じて選択可能です。coaxチャック、Triaxチャック、セラミック製校正基板ステージを搭載したRFチャックと様々なタイプのチャックを揃えております。

■セーフティーロック

ウェハーローディングドアは15℃以下の温度でロックされる、非常に安全性に優れたマニュアルプローブステーションです。

  • シリーズ

    シールドチャンバーマニュアルプローバーTS200-SE

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2024年12月25日にレビュー済み

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対応がとても丁寧で、安心して話を進めることができました。

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シールドチャンバーマニュアルプローバーTS200-SE 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
シールドチャンバーマニュアルプローバーTS200-SE-品番-TS200-SE

TS200-SE

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使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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この商品の取り扱い会社情報

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5.0

会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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  • 本社所在地: 東京都

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