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マニュアル・プローバー・パッケージ IMPACT™テストソリューション ITS50-COAX-ITS50-COAX
マニュアル・プローバー・パッケージ IMPACT™テストソリューション ITS50-COAX-緑屋電気株式会社

マニュアル・プローバー・パッケージ IMPACT™テストソリューション ITS50-COAX
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この製品について

IMPACT™テスト・ソリューション (ITS) はパッケージ製品でありながら、アプリケーションや個々の測定に合わせた自由度を持ち合わております。品質、測定精度に妥協にせずパッケージ価格にてお求めいただけます。

■テストコストの削減

IMPACT™は低価格にてご購入いただくことができるので、テストコストに大きく貢献することができます。アップグレードをご希望の際はオプションを選定いただくことによりご要求の機能を追加することが可能です。 大学、政府機関、研究機関などのDC/CVおよびRF測定ニーズに見合った製品となっております。 IMPACT™は、DC/CVまたはRFアプリケーションの大学、公的機関、政府機関、研究機関の特定の要件に対応しています。

■顕微鏡マウント及び顕微鏡保持機構

・剛性の高い顕微鏡ブリッジ (保持機構) ・顕微鏡XY方向旋回機構 ・フォーカス・ブロック付Z方向調整機構 (50mm)

■高さ調整機構付プラテン機構

・マイクロメーターにて高精度微調整 ・20mmの調整範囲

■モジュラー式チャック

・50mmトライアキシャル・チャック (常温) ・真空溝付ステンレス・チャック・トップ ・DC/CVアプリケーション測定用 ・オプションにて温度チャック変更可能

■プローブ・プラテン

・高剛性、安定設計 ・DC/CV、RF測定用設計 ・RFポジショナ用角型プラテンのご用意あり

■小型な設計

・実験台におけるベース・プレート (300x300mm) ・振動吸収アブソーバ・ベース ・省スペース設計 ・ロードプル測定に最適

■顕微鏡及び顕微鏡オプション

・MPI実体顕微鏡ST45 ・さまざまな顕微鏡より選定可能 ・パソコンいらずのHDMI接続差端子付きCCDカメラ (オプション)

■ポジショナ

・DCポジショナ (MP25) 4台、2m同軸ケーブル付同軸 アーム4本 標準装備 ・最大RF2台またはDC8台まで搭載可能 ・さまざまなポジショナより選定可能 ・測定用途に合わせて、同軸、トライアキシャル、ケルビン、RFアームのラインアップ

■チャック XY/θステージ機構

・XYステージ稼動範囲 (100x75mm) ・マイクロメーターでさらに25x25mmの微調整機構 ・±5° θ調整機構 ・クイック・リリース機構 ・独立したXY軸ナビゲーション

  • シリーズ

    マニュアル・プローバー・パッケージ IMPACT™テストソリューション ITS50-COAX

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マニュアル・プローバー・パッケージ IMPACT™テストソリューション ITS50-COAX 品番1件

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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  • 本社所在地: 東京都

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