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小型卓上型マニュアルプローバー TS50-TS50
小型卓上型マニュアルプローバー TS50-緑屋電気株式会社

小型卓上型マニュアルプローバー TS50
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この製品について

TS50マニュアルプロービングシステムはチップサイズから2インチウェハまでのDC/CVやRF測定アプリケーションを安価で構築可能とします。 場所をとらない省フットプリント設計 (300×300mm) 、無駄のない構成・設計により性能は損なわず、迅速なセットアップが可能でありすぐに測定環境を構築できる非常に優れた小型マニュアルプロービングシステムです。

■Easy Stage

TS50は2種類のチャックステージから選択が可能です。Easy stageは真空吸着を利用した、非常に単純な制御を行うステージです。単純なDC/CVアプリケーションなどにおすすめです。

■リニアガイド XY stage

XY軸はリニアガイドにより50×50mmの範囲を素早く正確に移動します。さらに25×25mm X-Y-θ軸はマイクロメーターを用いて早くて正確な独立した軸移動が可能です。RF測定や高温チャック搭載に必要な構成です。

■20mm 高さ調整

20mm可動ポジショナーベース (プラテン) により、すべてのポジショナーのコンタクト／セパレートを同時に行うことができます。

■トライアキシャルチャック

50mm triaxial chuckと正確な校正を行うためのセラミック製校正基板用チャックを搭載可能であり、様々なアプリケーションに対応いたします。

■ポジショナーセッティング

様々なパッドレイアウトに対応するために小型ポジショナーMP25なら8台、MP40なら6台まで搭載可能です。

■様々な顕微鏡

充実した顕微鏡ラインナップから、一般的なDC/CVアプリケーションには実態顕微鏡、RFアプリケーションにはズーム鏡筒タイプなど、ご提案が可能です。

  • シリーズ

    小型卓上型マニュアルプローバー TS50

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TS50

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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