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精密空調チャンバ-精密空調チャンバ
精密空調チャンバ-株式会社日立プラントサービス


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この製品について

電子・精密分野の製造プロセスで超精密温度環境を実現し、歩留り向上をサポートします。

■概要

半導体やFPD分野などの精密な計測や微細な加工を行う現場では、空気温度や湿度、圧力といった環境因子の変動が計測・加工誤差の要因となっており、高度な環境制御が要求されています。当社では、超精密計測・加工に要求される高品位な作業環境を提供するため、空気温度を±5/10,000℃レベルでコントロール可能な「精密空調チャンバ」を開発しました。

■特長

・精密な計測や微細な加工を行う装置の設置環境 (ターゲット空間) を±5/10,000℃で制御 ・従来の真空チャンバによる方式に比べて安価。 システム概要

■全体空調

精密空調チャンバ全体の温度をコントロールします。装置の設置環境を均一に保ち、ターゲット空間を保護します。温度変動±1/100℃以下温度分布±5/100℃以内

■冷水制御

±1/100℃の高精度で冷水を制御し、循環空気を一定に保ちます。

■ターゲット空間用空調

高い精度が要求されるターゲット空間に±1/1,000℃レベルまでコントロールした気流を供給します。

■ターゲット空間

精密な計測や微細な加工を行う空間です。

■適用

・半導体・液晶装置部品の検査工程 (基板、機械の伸縮防止) ・精密加工装置 ・精密計測装置他

  • シリーズ

    精密空調チャンバ

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精密空調チャンバ 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社日立プラントサービスは、空調設備や産業プラント設備など環境関連事業の展開を主な事業としている企業です。 設立は1964年で、本社のほかに北は北海道から南は熊本までの各地に支店や営業所、事業所とシンガポールに事務...

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  • 本社所在地: 東京都
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