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シリーズ
加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社利用シーン
電子・電気機器業界用 / 化学業界用Metoree経由で見積もり
2024年12月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。
初回対応までの時間への満足度
4.22時間
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | 反応ガス | 基板加熱温度 | 加熱源 | 昇温レート | 真空排気 | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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加圧RTA装置 |
要見積もり |
最大φ12インチ |
O2、N2、H2O (オプション) |
最高1,000℃ (基板表面) |
ハロゲンランプ |
最大150℃/sec |
DP |
制御：PLC |
外部メモリまたはPC |
大気搬送ロボット、冷却ステージ |
