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加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置-加圧RTA装置
加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置-ジャパンクリエイト株式会社

加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置
ジャパンクリエイト株式会社

💻 電子・電気機器業界用 🧪 化学業界用

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この製品について

■特徴

・加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 ・減圧プロセスから加圧プロセス (0.9MPaG) まで対応可能 ・基板表面の高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能 ・優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ・トレイ搬送にも対応可能

■用途

・半導体 ・MEMS ・電子部品

  • シリーズ

    加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 化学業界用

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加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 反応ガス 基板加熱温度 加熱源 昇温レート 真空排気 制御操作 データロギング 基板搬送
加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 加圧RTA装置-品番-加圧RTA装置

加圧RTA装置

要見積もり

最大φ12インチ

O2、N2、H2O (オプション)

最高1,000℃ (基板表面)

ハロゲンランプ

最大150℃/sec

DP

制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC

外部メモリまたはPC

大気搬送ロボット、冷却ステージ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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