基板プラズマクリーニングシステム搭載カーボンナノチューブ合成装置-カーボンナノチューブ合成装置

基板プラズマクリーニングシステム搭載カーボンナノチューブ合成装置
ジャパンクリエイト株式会社

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この製品について

■特徴・全自動でCNT合成が可能
・基板プラズマクリーニングシステム搭載
・優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現
・優れた膜厚分布および再現性を実現
・豊富な蓄積データ

■用途・エネルギー関連
・マテリアル関連
・バイオ関連
・ナノテクノロジー関連
・エレクトロニクス関連

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
基板プラズマクリーニングシステム搭載カーボンナノチューブ合成装置

取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社

カテゴリ

FA機器

自動合成装置

利用シーン
電子・電気機器業界用 / 化学業界用 / エネルギー業界用

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基板プラズマクリーニングシステム搭載カーボンナノチューブ合成装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	基板サイズ	CNT合成ガス	基板加熱温度	真空排気	圧力制御	制御操作	データロギング	オプション
	カーボンナノチューブ合成装置	要見積もり	最大φ12インチ	CH系、H2	最高800℃ (基板表面)	RP	APC制御	制御：PLC 操作：タッチパネルまたはPC	外部メモリまたはPC	基板自動搬送システム、ガス検知器、シリンダーキャビネットなど