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光電子顕微鏡 (MyPEEM) -MyPEEM
光電子顕微鏡 (MyPEEM) -株式会社北海光電子

光電子顕微鏡 (MyPEEM)
株式会社北海光電子

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この製品について

光電子顕微鏡 MyPEEM

■サンプル表面から放出される光電子を観察

・固体表面の電子状態を2次元マッピング ・電子状態の変化をリアルタイム観察 ・UV、X線、レーザー、放射光源対応可能

■PEEM

・光放出電子顕微鏡 (PEEM) は、サンプルに紫外光などの波長の短い光を照射することにより、サンプルから放出される光電子を検出する電子顕微鏡です。 ・表面の電子状態 (仕事関数) を一括してリアルタイムで得られるのが特徴です。 ・主な用途として、薄膜の成長過程や触媒反応の動的過程の追跡などに用いられています。 ・ガスの吸着、脱離による表面の電子状態の動的観察、円偏光紫外光を用いたスピン観察等に応用が見込まれています。

■PEEMの特徴

固体表面にUV光を照射することで電子を励起しますが、このとき生じる2次電子のエネルギーは数eVとなります。固体内部で励起された光電子は 表面や周辺原子との相互作用で脱 出できないため、表面極近傍 (数nm) の光電子像を得ることができます。

■本装置 (MyPEEM) の特徴

・本装置はPEEM本体、チャンバー、電源BOX、制御ソフトのすべてを一体としたスタ ンドアローン型の製品です。 ・励起光源として紫外光源を利用し、真空外からビューポート越しに照射する構造のため、各種光源の交換を容易に行うことができます。 ・穴径の異なる3種類のコントラストアパチャーを手動で選択可能です。 ・標準サンプルホルダーの他、ご要望に合わせてサンプルホルダーを製作します。

  • シリーズ

    光電子顕微鏡 (MyPEEM)

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使用用途

#元素分析 #マッピング #自動測定 #3D分析 #低真空観察 #異物分析 #高分解能観察 #試料作製 #スクリーニング分析

分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 16

加速電圧 kV

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30

倍率 倍

1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000

ステージ移動範囲 °

-15 - -10 -10 - 0 0 - 70 70 - 90

最大試料寸法 mm

0 - 30 30 - 80 80 - 200 200 - 1,500

プローブ電流 nA

0 - 10 10 - 100 100 - 500

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