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エアスライド・ステージ 計測機器の高精度位置決めに RCセラミックエアスライド-2RC025
エアスライド・ステージ 計測機器の高精度位置決めに RCセラミックエアスライド-株式会社ピーエムティー

エアスライド・ステージ 計測機器の高精度位置決めに RCセラミックエアスライド
株式会社ピーエムティー



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この製品について

セラミックエアスライドRCシリーズは、空気静圧による完全非接触ガイドです。LMガイドやクロスガイドと違い、転がりによる振動が発生しないため、摺動抵抗が極めて小さく、高速移動が可能。また、姿勢精度 (ピッチング・ヨーイング) の値が小さく、高い真直度を維持できるため、計測機器や半導体製造装置など、高精度な走行動作が求められる装置のステージに最適です。 剛性に優れたアルミナセラミックスを使用することで経年劣化がほとんど無く、また、オイルやグリスなどによる潤滑も必要ないので、メンテナンスフリーで半永久的にご使用いただけます。

■RCセラミックエアスライドの特性 各値の測定方法と定義

・剛性:テーブル中心に一定負荷をかけ、1µm変位したときの負荷量を換算して表す。 (ガイド軸の剛性は除く) ・負荷容量:テーブル中心に負荷をかけ、テーブルとガイド軸が接触したときの負荷量を表す。 ・負荷容量:テーブル中心に負荷をかけ、テーブルとガイド軸が接触したときの負荷量を表す。

  • シリーズ

    エアスライド・ステージ 計測機器の高精度位置決めに RCセラミックエアスライド

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エアスライド・ステージ 計測機器の高精度位置決めに RCセラミックエアスライド 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク (mm) 剛性 (kgf/µm) 最大積載荷重 (kgf) 空気消費流量 (NL/min) 真直度* (µm/Stroke) ピッチング (µm) ヨーイング (µm)
エアスライド・ステージ 計測機器の高精度位置決めに RCセラミックエアスライド-品番-2RC025

2RC025

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基本定格荷重 N

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 6,000 6,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 40,000

静的許容モーメント N・m

0 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,700

外形寸法 長さ mm

40 - 41 41 - 57 57 - 84

質量 LMブロック kg

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.6 0.6 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社ピーエムティーは、主に精密部品の受託加工や機械装置の設計・製造などを行っています。

1991年に半導体製造装置の専門商社として創業し、その後、産学官連携によって習得した超精密軸制御技術をコアとし...

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  • 本社所在地: 福岡県
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