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振動等に強い設計 分光タイプ位相差測定装置 PDMS-SPM-PDMS-SPM
振動等に強い設計 分光タイプ位相差測定装置 PDMS-SPM-ファイブラボ株式会社

振動等に強い設計 分光タイプ位相差測定装置 PDMS-SPM
ファイブラボ株式会社



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この製品について

■タイプ

白色光源

■特徴

・弊社エリプソメータエリプソメータエリプソメータの技術を基に開発された分光位相差測定装置分光位相差測定装置分光位相差測定装置です。 ・サンプルを透過・反射する際に生じる位相差、楕円率、方位角などを測定します。 ・全ての光学系が石定盤に構築されているためされているため、振動等に強い設計になっています。 ・測定方式に回転位相子法を採用しているため、従来のRA法では測定しにくいΔの領域も位相板の出し入れなしで高速・高精度に測定できます。 ・入射アームとは独立させて、ディテクター部のみを動かせるので、光軸が平行移動するようなサンプルも測定可能です。 ・各波長の位相差、楕円率、方位角が、確認しやすいデータビューワを標準装備しています。

  • シリーズ

    振動等に強い設計 分光タイプ位相差測定装置 PDMS-SPM

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振動等に強い設計 分光タイプ位相差測定装置 PDMS-SPM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定方式 光源 ビーム径 ディテクタ 入射角 ゴニオステージ 測定精度 測定時間 サンプルステージ 寸法 重量
振動等に強い設計 分光タイプ位相差測定装置 PDMS-SPM-品番-PDMS-SPM

PDMS-SPM

要見積もり

回転位相子法 (RQ法) -PCSA光学系-
※PSCA系光学系にも対応可

150Wハロゲンランプ (波長域:380~930nm)
※キセノンランプも選択可

約500μm (直線状態にて、スポットレンズスポットレンズスポットレンズ使用時)

CCDタイプマルチチャンネルマルチチャンネルマルチチャンネル分光器

反射測定40~90度
透過測定透過測定40~90度

θー2θ手動ゴニオステージゴニオステージゴニオステージ方式

Δ±0.05度ψ±0.05度 (但し、直線状態にて)

Min.25秒 (積算回数により測定時間は異なります)

Φ98mmの高さ調整機構付きθステージ (Z軸ストローク80MM)

測定機本体 (全体) 500×1,030×430
石定盤500×750×125
※奥行き×幅×高さ (MM) :標準仕様の場合

測定機本体約130kgシステム総重量約200kg
システムには測定機本体・制御ユニット・PC (本体・モニタ・
プリンタ) が含まれます。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ファイブラボ株式会社は1988年に設立した、光学機器及び装置の専門メーカーです。 光学機器や装置の開発・製造・販売をメインの事業として展開しており、光で膜の厚みなどを測定する装置であるエリプソンメーター、非接触で角度を...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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